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近年来,国内连续建设了多条8英寸、12英寸大规模集成电路生产线以及高世代面板生产线等。特种气体随着新建的晶圆厂和显示面板厂逐步进入量产,国内特种气体的需求大幅增加。而作为集成电路领域所需的关键材料电子特种气体,90%以上被国外企业垄断,特种气体国产化需求非常迫切。
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